高纯气体是晶圆制造、光伏电池板生产、显示面板加工过程中重要的原材料,参与整个产品生产加工过程。气体种类繁多,纯度高,部分气体有毒有害、易燃易爆。
高纯气体输送系统是指:将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制,通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。
其基本流程是:气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点
应用挑战:
1、高等级气体泄露率;
2、长期稳定性及可靠性要求较高;
3、多种腐蚀性气体介质;
4、高洁净要求;
5、部分设备安装空间狭小;
凯拓嘉业XM520VCR产品提供此行业应用的压力监测解决方案。